バルブ3台NUPROSS4BK10他
CKDソレノイド電磁弁2個
NUPROバルブ他4点
酸素用減圧弁 TANAKA
BALZERS バルブコントローラRVG40
MKSバラトロン127A A
フジキンUJR継手9.52T字管6個 L字管14個
NW50配管、フレキホース
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